可選擇上裝料方式或下裝料方式,優先推薦選擇上裝料方式;
可選擇地坑式布局或非地坑式布局。
可選擇配置快冷系統,實現設備快速降溫;
可選擇配置全機視頻監控系統,實時視頻監控設備關鍵部位;
適用工藝氣體:Ar或N?,純度≥99.999%,推薦選用Ar。
系列型號:AHIP+ 工作區直徑 (mm)
詳細型號:AHIP+ 工作區直徑 (mm)+ 工作區高度 (mm)+ 最高溫度(℃)+最高壓力 (MPa)
| 尺寸等級 | 工作區直徑(φ) | 工作區高度(mm) | 溫度范圍(℃) | 壓力范圍 |
| 小型(實驗室) | φ100-400 | 100-600 | 900-2000 | 100-220MPa 部分定制工作壓力可達 300MPa |
| 中等(中試/量產) | φ500-800 | 800-3000 | ||
| 大型(規模化生產) | φ850-1500 | 2000-4000 | ||
| 超大型(定制) | φ1600-2500 或>2500 | 2000-5000 |
