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關(guān)鍵詞：化學(xué)氣相沉積爐 CVD系統(tǒng)CVI 沉積爐

化學(xué)氣相沉積爐（沉積炭）

產(chǎn)品描述：: 化學(xué)氣相沉積爐（沉積炭）主要用于以碳?xì)錃怏w（天然氣、丙烷、丙烯）為碳源的預(yù)制體氣相滲透增密處理

應(yīng)用范圍：: 炭/炭剎車(chē)盤(pán)、炭炭板材、晶體爐坩堝、熱壓模具、高溫發(fā)熱體/緊固件、熱場(chǎng)材料等

產(chǎn)品咨詢索取報(bào)價(jià)400-677-0098

技術(shù)特征
產(chǎn)品規(guī)格
配置選擇

化學(xué)氣相沉積爐（沉積炭）技術(shù)特征

電阻爐可采用多溫區(qū)獨(dú)立控溫，溫度均勻性好；

采用智能壓力調(diào)控，壓力波動(dòng)小；

全封閉沉積室，密封效果好，抗污染能力強(qiáng)；

多通道工藝氣路，流程均勻，無(wú)沉積死角，沉積效果好；

多級(jí)高效尾氣處理系統(tǒng)，環(huán)境友好，能高效收集焦油及副產(chǎn)物，易清理；

可選配外循環(huán)快冷系統(tǒng)，降溫時(shí)間短，生產(chǎn)效率高；

化學(xué)氣相沉積爐（沉積炭）產(chǎn)品規(guī)格

參數(shù)\型號(hào)	HCVD-060609-C	HCVD-101015-C	HCVD-121220-C	HCVD-151530-C	HCVD-152023-C	HCVD-252035-C
工作區(qū)尺寸 W×H×L（mm）	600×600×900	1000×1000×1500	1200×1200×2000	1500×1500×3000	1500×2000×2300	2500×2000×3500
最高溫度（℃）	1500	1500	1500	1500	1500	1500
溫度均勻性（℃）	±5	±7.5	±10	±10	±10	±10
極限真空度（Pa）	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100
壓升率（Pa/h）	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
加熱方式	電阻	電阻	電阻	電阻	電阻	電阻

參數(shù)\型號(hào)	VCVD-0305-C	VCVD-0608-C	VCVD-0812-C	VCVD-1120-C	VCVD-1320-C	VCVD-1520-C
工作區(qū)尺寸D×H（mm）	Φ300×500	Φ600×800	Φ800×1200	Φ1100×2000	Φ1300×2000	Φ1500×2000
最高溫度（℃）	1500	1500	1500	1500	1500	1500
溫度均勻性（℃）	±5/±10	±7.5/±10	±7.5/±15	±10/±15	±10/±15	±10/±20
極限真空度（Pa）	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100
壓升率（Pa/h）	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
加熱方式	電阻/感應(yīng)	電阻/感應(yīng)	電阻/感應(yīng)	電阻/感應(yīng)	電阻/感應(yīng)	電阻/感應(yīng)

參數(shù)\型號(hào)	VCVD-1822-C	VCVD-2032-C	VCVD-2632-C	VCVD-3344-C	VCVD-6660-C
工作區(qū)尺寸D×H（mm）	Φ1800×2200	Φ2000×3200	Φ2600×3200	Φ3300×4400	Φ6600×6000
最高溫度（℃）	1500	1500	1500	1500	1500
溫度均勻性（℃）	±15	±15	±15	±20	±20
極限真空度（Pa）	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100
壓升率（Pa/h）	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
加熱方式	電阻	電阻	電阻	電阻	電阻

以上參數(shù)可根據(jù)工藝要求進(jìn)行調(diào)整，不作為驗(yàn)收依據(jù)，具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準(zhǔn)。

化學(xué)氣相沉積爐（沉積炭）配置選擇

結(jié)構(gòu)形式：臥式-單開(kāi)門(mén)/雙開(kāi)門(mén)；立式-上出料/下出料

爐門(mén)鎖緊方式：手動(dòng)/自動(dòng)

爐殼材質(zhì)：全碳鋼/內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼

保溫材質(zhì)：碳?xì)?石墨氈/碳纖維固化氈/陶瓷纖維氈

加熱器、馬弗：石墨/CFC/金屬

熱電偶：K/N/C/S分度號(hào)

電源：KGPS/IGBT(僅適用于中頻加熱)

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