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關(guān)鍵詞：碳化硅涂層爐化學氣相沉積爐碳化硅沉積爐

化學氣相沉積爐（SiC、BN）

產(chǎn)品描述：: 化學氣相沉積爐（SiC、BN）可用于材料的表面涂層、基體改性、復合材料制備等

應(yīng)用范圍：: 外延片基座、晶體爐高溫耐材、熱彎模具、半導體坩堝、陶瓷基復合材料等

產(chǎn)品咨詢索取報價400-677-0098

技術(shù)特征
產(chǎn)品規(guī)格
配置選擇

化學氣相沉積爐（SiC、BN）技術(shù)特征

采用先進的控制技術(shù)，能精密控制MTS的流量和壓力，爐膛內(nèi)沉積氣流穩(wěn)定，壓力波動范圍小；

全密閉沉積室，密封效果好，抗污染能力強；

多通道工藝氣路，流場均勻，無沉積死角，沉積效果好；

多級高效尾氣處理系統(tǒng)，能有效處理高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體、固體粉塵及低熔點粘性產(chǎn)物，環(huán)境友好；

可選配新設(shè)計的防腐蝕真空機組，持續(xù)工作時間長，維修率極低；

使用工藝氣氛：真空/CH₄/H₂/N₂/Ar/BCI₃/NH₃/MTS。

化學氣相沉積爐（SiC、BN）產(chǎn)品規(guī)格

參數(shù)\型號	HCVD-060609-SIC	HCVD-101015-SIC	VCVD-121220-SIC	HCVD-151530-SIC	HCVD-252035-SIC
工作區(qū)尺寸W×H×L（mm）	600×600×900	1000×1000×1500	1200×1200×2000	1500×1500×3000	2500×2000×3500
最高溫度（℃）	1500	1500	1500	1500	1500
溫度均勻性（℃）	±7.5	±7.5	±10	±10	±10
極限真空度（Pa）	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100
壓升率（Pa/h）	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
加熱方式	電阻	電阻	電阻	電阻	電阻

參數(shù)\型號	VCVD-0305-SIC	VCVD-0608-SIC	VCVD-0812-SIC	VCVD-1120-SIC	VCVD-1520-SIC
工作區(qū)尺寸D×H（mm）	300×500	600×800	800×1200	1100×2000	1500×2000
最高溫度（℃）	1500	1500	1500	1500	1500
溫度均勻性（℃）	±5	±7.5	±7.5	±10	±10
極限真空度（Pa）	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100
壓升率（Pa/h）	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
加熱方式	電阻	電阻	電阻	電阻	電阻

以上參數(shù)可根據(jù)工藝要求進行調(diào)整，不作為驗收依據(jù)，具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準。

化學氣相沉積爐（SiC、BN）配置選擇

結(jié)構(gòu)形式：臥式-單開門/雙開門；立式-上出料/下出料

爐門鎖緊方式：手動/自動

爐殼材質(zhì)：內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼

保溫材質(zhì)：碳氈/石墨氈/碳纖維固化氈/陶瓷纖維氈

加熱器、馬弗材質(zhì)：石墨/CFC/金屬

熱電偶：K/N/C/S分度號

真空泵：機械泵組/耐腐蝕泵組

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