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氮化硼界面層/CVI沉積爐

產(chǎn)品描述：: 氮化硼界面層沉積爐主要用于碳纖維、碳化硅纖維、氮化硅纖維、氮化硼纖維及其編織預(yù)制件等的氮化硼界面層制備。

應(yīng)用范圍：: 碳纖維、碳化硅纖維、氮化硅纖維、氮化硼纖維及其編織預(yù)制件

產(chǎn)品咨詢索取報價400-677-0098

技術(shù)特征
產(chǎn)品規(guī)格
配置選擇

氮化硼界面層/CVI沉積爐技術(shù)特征

電阻爐可采用多溫區(qū)獨立控溫，溫度均勻性好；

采用智能壓力調(diào)控，壓力波動小；

全封閉沉積室，密封效果好，抗污染能力強；

多通道工藝氣路，流場均勻，無沉積死角，沉積效果好；

多級高效尾氣處理系統(tǒng)，環(huán)境友好，易清理；

氮化硼界面層/CVI沉積爐產(chǎn)品規(guī)格

參數(shù)\型號	CVI-0305-BN	CVI-0608-BN	CVI-0612-BN	CVI-0812-BN	CVI-0817-BN	CVI-1120-BN	CVI-1315-BN	CVI-1520-BN
工作區(qū)尺寸 φ×H（mm）	300×500	600×800	600×1200	800×1200	800×1700	1100×2000	1300×1500	1500×2000
最高溫度（℃）	1500	1500	1500	1500	1500	1500	1500	1500
溫度均勻性（℃）	±5	±7.5	±7.5	±7.5	±7.5	±10	±10	±15
極限真空度（Pa）	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100
壓升率（Pa/h）	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
加熱方式	電阻	電阻	電阻	電阻	電阻	電阻	電阻	電阻

以上參數(shù)可根據(jù)工藝要求進行調(diào)整，不作為驗收依據(jù)，具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準(zhǔn)。

氮化硼界面層/CVI沉積爐配置選擇

結(jié)構(gòu)形式：立式-上出料/下出料

爐門鎖緊方式：手動/自動

爐殼材質(zhì)：內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼

保溫材質(zhì)：碳氈/石墨氈/碳纖維固化氈

加熱器、馬弗材質(zhì)：石墨/CFC

熱電偶：C/S分度號

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