| 參數(shù)\型號 | HQI-5510 | HQI-5512 | HQI-5516 |
| 工作區(qū)尺寸 W×H×L（mm） | 500×500×1000 | 500×500×1200 | 500×500×1600 |
| 最高溫度（℃） | 600 | ||
| 極限真空度（Pa） | 1 | ||
| 最高壓力（MPa） | 1 | ||
| 壓升率（pa/h） | 2 | ||
以上參數(shù)可根據(jù)工藝要求進(jìn)行調(diào)整，不作為驗收依據(jù)，具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準(zhǔn)。
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