| 型號/參數(shù) | VQI-1010 | VQI-1813 | VQI-2013 |
| 工作區(qū)尺寸D×H（mm） | φ1200×1000 | φ1800×1300 | φ2000×700 |
| 最高溫度（℃） | 2000 | ||
| 壓力噸位（T） | 100 | ||
| 極限真空度（pa） | 1×10-3 | ||
| 最高壓力（MPa） | 2-10 | ||
| 壓升率（pa/h） | 0.67 | ||
以上參數(shù)可根據(jù)工藝要求進(jìn)行調(diào)整，不作為驗收依據(jù)，具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準(zhǔn)。
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