| 型號/參數(shù) | HPSF-050515 | HPSF-060615 | HPSF-060618 | HPSF-080825 |
| 工作區(qū)尺寸 W×H×L（mm） | 500×500×1500 | 600×600×1500 | 600×600×1800 | 800×800×2500 |
| 最高溫度（℃） | 1800~2400 | 1800~2400 | 1800~2400 | 1800~2400 |
| 溫度均勻性（℃） | ±5~±10 | ±5~±10 | ±5~±10 | ±5~±10 |
| 極限真空度（Pa） | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 |
| 最高壓力（MPa） | ＜0.11/2 | ＜0.11/2 | ＜0.11/2 | ＜0.11/2 |
以上參數(shù)可根據(jù)工藝要求進(jìn)行調(diào)整，不作為驗(yàn)收依據(jù)，具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準(zhǔn)。
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