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          高溫粉體合成爐
          高溫粉體合成爐
          產(chǎn)品描述:
          高溫粉體合成爐主要用于半導體領(lǐng)域的陶瓷粉體的合成。
          應(yīng)用范圍:
          高純碳化硅、碳化硼、碳化鋯、氮化硅、氮化硼、氮化鋁等粉體的制備。

          高溫粉體合成爐技術(shù)特征

          高溫粉體合成爐產(chǎn)品規(guī)格

          型號/參數(shù)HPSF-050515HPSF-060615HPSF-060618HPSF-080825
          工作區(qū)尺寸
          W×H×L(mm)
          500×500×1500600×600×1500600×600×1800800×800×2500
          最高溫度(℃)1800~24001800~24001800~24001800~2400
          溫度均勻性(℃)±5~±10±5~±10±5~±10±5~±10
          極限真空度(Pa)1-1001-1001-1001-100
          最高壓力(MPa)<0.11/2<0.11/2<0.11/2<0.11/2

          以上參數(shù)可根據(jù)工藝要求進行調(diào)整,不作為驗收依據(jù),具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準。


          高溫粉體合成爐配置選擇

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          高性能陶瓷熱工裝備

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